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仙台・宮城・陸奥

486：荷主研究者：2009/11/29(日) 21:30:16: >>72 >>178 >>347
http://www.kahoku.co.jp/news/2009/11/20091126t12039.htm
2009年11月26日木曜日　河北新報
東エレク「ＲＬＳＡ」導入検討　宮城新工場の計画変更

　半導体製造装置大手の東京エレクトロン（東京）は、着工を延期している宮城県大和町の新工場建設計画の一部を見直し、プラズマを活用した次世代技術「ＲＬＳＡ」の生産機能を導入する方向で検討に入った。次世代技術導入は、国際的な競争力を高めるのが狙い。着工時期については、世界的な景気悪化で冷え込んだ半導体市場が「上昇局面にある」との認識で前向きに協議しており、早期に結論を出す考えだ。

　新工場は当初、半導体製造用エッチング装置の製造を主体に計画したが、見直し案ではエッチング装置を基本にしながらＲＬＳＡを柱の一つに加える。ＲＬＳＡは仙台市泉区の子会社「東京エレクトロン技術研究所」が研究拠点であり、研究所の成果と新工場の製造を連動させ、最先端の製品の製造拠点化を目指す。

　ＲＬＳＡは、来年１２月までに閉鎖する研究開発拠点「関西テクノロジーセンター」（兵庫県尼崎市）から業務や研究員を仙台の研究所に集約する方針で、研究所の増設も計画している。

　東京エレクトロンの東哲郎会長は河北新報社の取材に答え、半導体製造装置の受注状況について「底を打ち、上昇していく段階にある」との認識を示した。新工場の着工は「ポジティブに考えていることは間違いない。なるべく早く結論を出したい」と極めて前向きな姿勢を示した。

　これまでの計画で新工場は、生産棟など３棟（総延べ床面積７万２０００平方メートル）を県の工業団地「大和リサーチパーク」に建設。生産子会社の東京エレクトロンＡＴ宮城事業所（宮城県松島町）と山梨事業所（山梨県韮崎市）に分散するエッチング装置の開発・製造機能を集約する予定だった。

　東京エレクトロンは昨年１２月１２日、半導体市場の悪化を理由に、新工場の０９年４月着工、１０年４月稼働の予定を延期すると発表した。

［ＲＬＳＡ］　プラズマを活用した微細な半導体の加工技術。特殊なアンテナで高密度のプラズマを発生させ基板を加工する。プラズマは低エネルギーで半導体へのダメージが少なく、不良品削減効果もある。東京エレクトロンは東北大の大見忠弘客員教授（半導体電子工学）と１９９８年からＲＬＳＡを研究し、２００１年に商品化。さらなる高度化を目指す。

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