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12
:
dai
:2008/12/13(土) 07:58:37 ID:i16aGwtk0
>11
>1973年に最初に開発された4K DRAM
この頃は、密着露光 ベタ焼きと同じです
初期のICは、赤ネガをカッターで切り、市販の大判カメラで
ガラス乾板に、焼付け、マスクを製作です
この時代なら、カメラのレンズに通じるものがあります
現在のステッパは、別物です
特定波長ですが、分解能45nm 開口率が1を超える(純水の中 F=0.4?)
20cm程度の50枚ぐらいのレンズを使用して、30億円ぐらい
Nの次世代は、光学の限界を超え、2回、露光して
30nm線幅を実現するそうです
カメラレンズ程度なら、シュミレーション技術が、発達していますので
設計力は、どこのメーカでも、あまり変わらないと思います
鉛フリーになって、選べる材料が、減っているようですので
さらに違いが少なくなっている
どの特性を重視するかの仕様とコストでかな
アナログ時代のレンズは、設計力の差があったと思いますが
これはメーカより、個人の資質です
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