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680：荷主研究者：2010/03/30(火) 23:57:19: >>577-579
http://www.kahoku.co.jp/news/2010/03/20100326t72017.htm
2010年03月26日金曜日　河北新報
新型エッチング装置発売　東北大と共同研究　東エレク

東京エレクトロンが販売を始めたＲＬＳＡ活用の新型エッチング装置

　半導体製造装置大手の東京エレクトロン（東京）は２５日、高密度プラズマを活用した次世代の半導体加工技術「ＲＬＳＡ」を導入した新型エッチング装置の販売を始めたと発表した。半導体基板の表面の損傷を抑え、完成品の不良品率を減少させるなど利点が多い。東北大との共同研究の成果を製品化し、ＲＬＳＡ研究拠点の東京エレクトロン技術研究所（仙台市泉区）で生産する。

　来春にも稼働する宮城県大和町の新工場での量産も検討。宮城県とのかかわりが深い製品で、エッチング装置の世界市場のシェア拡大を狙う。

　装置の価格は仕様によって異なり、１台５億～１０億円。２０１０年度には国内外の半導体メーカーに約２０台を出荷する計画。既に米国の大手半導体メーカー数社から評価を得ている。

　ＲＬＳＡは衛星放送用に開発されたアンテナを半導体製造用に応用した。エッチングの生産工程でプラズマを安定的、均一的に発生させ、半導体基板の物理的・電気的なダメージを抑えることが可能となった。微細加工で高い形状制御性や均一性などを維持できるなどの利点もある。

　ＲＬＳＡの半導体製造装置への活用は、東北大未来科学技術共同研究センターの大見忠弘教授（半導体電子工学）が研究を進め、１９９８年からは東京エレクトロンと共同で実用化を目指していた。

　東京エレクトロンは「東北大の技術を活用し、画期的な新製品を生み出すことができた」（広報・ＩＲ室）と話している。

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