仙台・宮城・陸奥

668：荷主研究者：2010/03/20(土) 18:35:26: http://www.nikkan.co.jp/news/nkx1420100309aaaq.html
2010年03月09日　日刊工業新聞
東北大、微小電気機械システムの試作設備を開放

　【仙台】東北大学は、西澤潤一記念研究センター（仙台市青葉区）で保有する微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）の試作設備を企業などに開放する。２０１０年秋をめどに４インチと６インチサイズのウエハーに対応するＭＥＭＳ試作ラインを同センターに整備して有料で貸し出す。また、同センターの研究員らが機器の使用方法やノウハウをアドバイスし、企業の製品開発を後押しする。

　同センターは元東北大総長の西澤潤一氏（上智大学特任教授）が設立した半導体研究振興会の研究拠点だった。同振興会は０８年に解散し、東北大が資産などを譲り受けていた。

　同センターにはウエハー製造や検査・測定、切断・組み付け設備などＭＥＭＳの製作に必要な設備がそろうほか、世界最高水準のクリーンルームを備える。今後、量産試作もできるように一部の設備を新たに購入するなどして、供用に向けた準備を進める。

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