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仙台・宮城・陸奥

4137：荷主研究者：2022/01/09(日) 17:49:34: https://www.nikkan.co.jp/articles/view/00622617?isReadConfirmed=true
2021/12/23 05:00 日刊工業新聞
「Ｔ―Ｂｉｚ」ではじめよう　東北大学連携ＢＩ（７）

パンソリューションテクノロジーズ／ウエハー品質　瞬時に測定

シリコンウエハーの品質を測定する装置

　会社設立は２０１７年９月。東北大学金属材料研究所から生まれた研究成果を事業化した。半導体結晶基板の品質を瞬時に測定する独自の方法を用いた半導体ウエハー検査装置の開発・製造・販売を手がける。

　新技術の名称は「ＨＳ―ＣＭＲ法」。太陽光発電システム向けシリコン結晶基板の効率的な出荷検査などに役立てる。同法は４探針法を利用し、独自開発のアルゴリズムにより電流を可変させながら、基板内部に浸透させて、情報を得ることができる。

　ＨＳ―ＣＭＲ法を用いた同社の測定装置は、太陽電池としての電子、欠陥などエネルギー変換率に関するすべての要素を測定。発電に寄与する電子の数（有効キャリア）を正確に測定し、太陽電池全体の性能を引き上げることにもつなげる。

　半導体製造における品質のばらつきや生産性向上にはまだ課題が残るという。「日本の半導体産業に貢献していきたい」（松島悟社長）としている。

　▽仙台市青葉区▽松島悟社長▽０２２・２１６・７１５５

ナルックス／微細加工技術を高度化

　超高精度な樹脂・ガラス光学部品を手がける。自社で光学設計から超精密金型加工・切削、成形・蒸着・自動化・組み立て、測定・評価まで一貫して対応している。東北大学のＭＥＭＳ（微小電気機械システム）分野における最先端のナノ（ナノは１０億分の１）レベル加工技術に着目し、Ｔ―Ｂｉｚに仙台技術研究所を設けた。自社の微細加工技術の高度化につなげている。

　レンズ、ミラー、回折光学素子、光学モジュール、光通信などさまざまな分野に製品を供給する。新たな機能を持つ光学素子のプロセス開発など、微細加工技術開発の領域で「仙台研究所は頭脳拠点にもなっている」（大割寛執行役員ＣＴＯ）。

　ナルックスが取得した特許は２００件を超えるという。今後も国連の持続可能な開発目標（ＳＤＧｓ）に関係した分野などのビジネスをサポートする開発やモノづくりを一段と進める姿勢を示す。

　▽大阪府島本町▽北川清一郎社長▽０７５・９６３・３４５６

(2021/12/23 05:00)

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