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仙台・宮城・陸奥

1858荷主研究者:2013/10/27(日) 13:40:34

http://www.kahoku.co.jp/news/2013/10/20131019t15034.htm
2013年10月19日土曜日 河北新報
光学検査機に独自技術 仙台のベンチャー、特殊結晶を製造

改良型の光学検査機。中央の可動式の台にサンプルを乗せ、左側の光源から光を当て、右側にあるセンサーで測定する

 光学素子開発製造のフォトニックラティス(仙台市)は、電子製品の研究、開発現場などで活用される光学検査装置(エリプソメータ)のシェア拡大に力を入れている。独自製造する「フォトニック結晶」を使い、ナノレベルの膜の厚さを計測する性能を持たせた。21日には改良機を発売し、一層の普及を目指す。

 エリプソメータは、サンプルからの反射光を光学センサーで計測し、表面の膜の厚さを測る仕組み。スマートフォン(多機能携帯電話)の市場拡大に伴い、メーカーや研究機関からの需要増が期待されている。

 同社は昨年、小型装置「LiBRA(リブラ)」の商品化に成功。一般的な回転式偏光フィルターの替わりに、フォトニック結晶をフィルターに並べた独自の電荷結合素子(CCD)センサーを採用した。

 新型センサーは、数十万の偏光情報を一気に得られる利点がある。装置そのものの小型化や、製造コスト削減も可能になり、これまで10台近い引き合いがあった。

 新たに市場投入する改良型には可動式のサンプル台を導入し、測定がより効率的にできるよう工夫した。幅2ミリ、長さ1センチの領域を1回で検査し、20マイクロメートル(マイクロは100万分の1)四方単位でデータ採取できる。

 改良型は1台約400万円で、年間10台の販売を目指す。同社の岸田勝人社長は「フォトニック結晶の独自技術は、高速で、詳細な分析が求められる工業分野に貢献できるだろう」と話した。

 [フォトニック結晶]光の屈折率が異なるガラス素材などを、基板上に一定のパターンで重ね合わせた人工結晶。光学素子に使われ、物質表面の複雑な偏光データを検出できる。川上彰二郎東北大名誉教授が量産技術を開発し、事業化のためのベンチャー企業として02年にフォトニックラティスを設立した。


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