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化学・薬品産業総合スレッド

93荷主研究者:2004/08/10(火) 03:00

【日産化学富山:半導体材料の生産倍増】
http://www.hokkoku.co.jp/_keizai/K20040702002.htm
2004年7月2日 北國新聞
日産化学、半導体材料の生産倍増 富山に第2工場着手

 日産化学工業(東京)は、富山工場(富山県婦中町)で、半導体の製造工程で使う反射防止膜ARCの生産能力を倍増させる。今月上旬に第二工場を着工し、二〇〇五年夏の稼働を目指す。投資額は約十億円。

 ARCは半導体ウエハー上に塗り、配線パターンを焼き付ける際に照射する光の乱反射を防ぐ。回路線幅の微細化に伴い需要が拡大し、ここ数年は年20%ずつ売り上げを伸ばしている。

 回路線幅は現在の百三十―百ナノメートルから四十五ナノメートルへ微細化が加速するとみられる。新工場はARCの高品質化を図るため、クリーン度をクラス100(一立方フィート中に0・3ミクロンのちりが一つ以下の状態)まで高める。取引先別の多品種少量生産にも対応する。

 第一工場に隣接する敷地に建設し、延べ床面積は千二百二十三平方メートル。製造室、充てん室、生産設備を操作する計器室などを備える。

 富山工場は電子材料の開発、製造拠点に位置付けられ、ARCは九八年に生産開始し、今回が第三次増強となる。日産化学工業では今年度、電子材料事業で二百五十億円の売り上げを見込んでいる。


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