化学・薬品産業総合スレッド

752：荷主研究者：2010/12/02(木) 22:02:46: http://www.sankeibiz.jp/business/news/101119/bsc1011191054011-n1.htm
2010.11.19 05:00　Fuji Sankei Business i.
旭化成、半導体向け防塵カバー増産

　旭化成傘下の旭化成イーマテリアルズ（東京都千代田区）は１８日、半導体製造に使う「ペリクル」と呼ぶ防塵（ぼうじん）カバーを増産すると発表した。宮崎県延岡市の工場設備を改良し、生産能力を従来の２倍以上の２２万枚に増やした。同時に、最先端の半導体製造プロセスに対応した「フッ化アルゴン露光対応ペリクル」も生産する。ペリクルは、回路パターンをウエハーに焼き付ける際に微少なちりが入り込むのを防ぐ部材。旭化成は液晶向けでは８割の世界シェアを持つが、半導体向けは約２割にとどまっているとみられ、三井化学や信越化学工業に後れをとっている。今回の高機能品投入や生産増強により、２、３年後にシェアを３割まで引き上げたい考え。

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