化学・薬品産業総合スレッド

712：荷主研究者：2010/09/04(土) 14:43:00: http://www.nikkan.co.jp/news/nkx0720100827eaab.html
2010年08月27日　日刊工業新聞
旭化成と東北大、高品質の窒化ガリウム単結晶製造技術を開発

　旭化成と東北大学は、従来より高品質の窒化ガリウム単結晶を製造する技術を開発した。単結晶の大口径化につながる基礎技術で、炭化ケイ素（ＳｉＣ）より高温動作が可能な窒化ガリウムデバイスの実現に寄与する。従来より高温高圧に耐えるオートクレーブ（結晶育成装置）の開発により実現した。今後は、直径２インチの単結晶を製造し、デバイスとしての有効性を検証するほか、４年後の実用化を目指す。

　窒化ガリウムの単結晶は、溶媒のアンモニアと、原料のガリウム金属、それと材料を溶かす鉱化剤を高温高圧の容器に入れて成長させる。現在はポーランドのアモノが開発した、アルカリの鉱化剤を使った方式で同２インチの単結晶ができることが確認されている。だが、同方式は５０００気圧の高圧に耐える容器が必要で、これ以上の大口径化が難しい。

　旭化成と東北大の福田承生名誉教授は、酸性の鉱化剤を使った方式を採用し実用化研究を進めている。

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