化学・薬品産業総合スレッド

347：荷主研究者：2008/08/14(木) 23:39:27: http://www.hokkoku.co.jp/_keizai/K20080706302.htm
2008年7月6日03時16分　北國新聞■北陸の経済ニュース
◎微細回路の電子材量産　日産化学富山工場

　日産化学工業富山工場（富山市）は、回路線幅四五ナノメートル（ナノは十億分の一）の半導体回路形成を可能にする電子材料の量産技術を確立し、新たな生産棟の建設に着手する。今月中旬に着工し、来年六月の稼働を目指す。総投資額は約三十億円。

　量産を計画するのは、半導体の微細な配線回路の製造工程で使う電子材料「反射防止膜」（ＡＲＣ）。半導体に配線パターンを焼き付ける際に照射する紫外線の乱反射を防ぐ機能を持ち、微細な配線回路を誤差なくつくることができる。

　半導体メーカーは配線回路の微細化にしのぎを削り、回路線幅の主流は現在の六五ナノメートルから、数年内には四五ナノメートルに移行すると予測されている。これに伴い、日産化学工業でも四五ナノメートル対応のＡＲＣの量産技術の確立を急いできた。

　新生産棟は鉄骨造り二階建て、延べ床面積約千五百平方メートル。既存のＡＲＣ生産棟では、現在、主に六五ナノメートル対応のＡＲＣを生産している。新棟が完成すれは、ＡＲＣ全体での生産力は倍増する。

　将来的には三二ナノメートル対応のＡＲＣの生産も視野に入れ、量産技術の開発を進めている。

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