化学・薬品産業総合スレッド

319：荷主研究者：2008/03/23(日) 23:17:58: http://www.hokkoku.co.jp/_keizai/K20080120301.htm
2008年1月20日03時17分更新　北國新聞■北陸の経済ニュース
◎電子材料生産力を倍増　日産化学富山工場　３０億円投じ新棟着工へ

　日産化学工業富山工場（富山市）は、主力製品のひとつである電子材料の生産力を倍増する。半導体の微細な配線回路の製造工程で使う電子材料「反射防止膜」（ＡＲＣ）の需要が高まってきたためで、今春、新たな生産棟の建設に着手し、来夏の稼働を目指す。総投資額は約三十億円を見込む。

　ＡＲＣは半導体ウエハー上に塗るコーティング剤で、半導体に配線パターンを焼き付ける際に照射する紫外線の乱反射を防ぐ。これにより、線幅の狭い微細な配線回路を誤差なくつくることができる。日産化学富山工場は一九九八年、ＡＲＣ事業に参入した。

　近年、パソコン、携帯電話など電子機器メーカーは、製品の高性能化を目指し、メモリー容量が大きい超小型の半導体を求める傾向が強まっている。このため、半導体メーカーは配線回路の微細化にしのぎを削り、これに伴い、微細化を実現するＡＲＣの需要も旺盛で、富山工場も年率１５％程度ずつ売り上げを伸ばしている。

　新棟完成後は当面、回路線幅六五ナノメートル（ナノは十億分の一）の回路形成を可能にするＡＲＣを量産する。将来的には、いま量産に向けて開発中の線幅四五ナノメートル対応のＡＲＣの生産も視野に入れている。

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