化学・薬品産業総合スレッド

2245：荷主研究者：2019/11/19(火) 22:52:29: https://www.nikkan.co.jp/articles/view/00536485?isReadConfirmed=true
2019/10/30 05:00　日刊工業新聞
大阪有機化学工業、半導体レジスト材拡充　金沢工場に新棟

大阪有機化学工業の金沢工場

　大阪有機化学工業は２９日、金沢工場（石川県白山市）に新棟を建設し、半導体レジスト材料の生産体制を強化したと発表した。フッ化アルゴン（ＡｒＦ）用や極端紫外線（ＥＵＶ）用のレジスト材料を、半導体レジストメーカー向けに供給する。同社が世界トップシェアを誇るＡｒＦ用材料の供給能力を、従来比１・５倍に高める。

　新棟への投資額は約２２億円。４階建てで延べ床面積は１０７８平方メートル。２月に完成し６月に生産を始めた。ＥＵＶ用材料の生産に対応するため、金属不純物の混入を極限まで減らす装置を導入した。ＥＵＶ用材料は今後、デバイスの超微細加工で需要増が期待される。同材料を本格量産し、ＡｒＦ用材料と同様トップシェア狙う。

　韓国向けレジストの輸出管理強化の影響については、前倒し需要が増えたことなどから、「（全体として）むしろオーダーは増えた」（渡辺哲也経営戦略部長）という。

(2019/10/30 05:00)

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