化学・薬品産業総合スレッド

1551：荷主研究者：2015/10/21(水) 23:02:43: http://www.nikkan.co.jp/news/nkx0820151008cbab.html
2015年10月08日　日刊工業新聞
セントラル硝子、六フッ化タングステンの生産能力を４０％引き上げ

　セントラル硝子は７日、半導体製造の成膜工程で使われる六フッ化タングステン（ＷＦ６）の生産能力を従来比３０―４０％引き上げると発表した。宇部工場（山口県宇部市）に年産１５０トンのプラントを新設し、２０１７年１月の稼働を目指す。国内外の半導体大手に供給する。投資額は非公表。

　半導体業界で加速する電子回路の微細化・集積化を背景に、ＷＦ６は足元で需給が逼迫（ひっぱく）する傾向にある。ＷＦ６の使用量はこの先も大きく伸びると見込まれることから、早期の生産増強が必要と判断した。

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