ＰＣ関連スレ

902：荷主研究者：2010/04/17(土) 18:57:49: http://www.nikkan.co.jp/news/nkx0720100408eaab.html
2010年04月08日　日刊工業新聞
東北大、半導体層にＣＮＴを用いた薄膜トランジスタ開発

　【仙台】東北大学金属材料研究所の竹延大志准教授は、半導体層にカーボンナノチューブ（ＣＮＴ）を用いた薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）を開発した。単層ＣＮＴを基板上にインクジェット方式で塗布する技術で、化学的に安定したＴＦＴの試作に成功。アモルファスシリコンを用いた従来型のＴＦＴに比べ、電子の移動度や曲げ強度などに優れた特性があり、電子ペーパーなどへの応用が期待できる。

　ＣＮＴは金属と半導体の性質が混在しており、半導体として利用するためには金属的な性質を排除する必要があった。竹延准教授によると、「単層ＣＮＴを低濃度に混ぜた液体を基板上に極微量ずつ吹き付けて薄膜形成する技術」で金属的な性質を抑えることに成功。電子の移動度は従来型に比べて数倍に上昇したという。

　同技術を用いて製作したＴＦＴは、ＣＮＴが強固な結晶構造なため、曲げに対して非常に強い性質を持つ。

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