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鉄鋼・非鉄金属スレッド

194荷主研究者:2005/08/13(土) 03:28:07

【東北大多元研:純度「世界最高」の半導体用鉄を開発】
http://www.kahoku.co.jp/news/2005/05/20050503t15039.htm
2005年05月03日火曜日 河北新報
純度“世界最高”の半導体用鉄を開発 東北大多元研

 東北大多元物質科学研究所の一色実教授(素材工学)らの研究グループが、純度99.9999%以上の半導体用超高純度鉄の開発・量産化に、世界で初めて成功した。鉄は資源量が豊富で毒性がないため、従来の半導体素材からの切り替えが進む可能性がある。発光素子のほか、実用化に向けて研究が進む次世代型磁気メモリー「MRAM」の材料としても活用が期待される。

 鉄はシリコンと化合させることで、発光ダイオードやレーザー源などの発光素子になる材料として活用できる。しかし、従来の純度は99.99%程度が最高で、半導体材料として要求される99.9999%以上の超高純度化は困難とされていた。

 一色教授らは、市販の鉄(純度は99.9%程度)を塩酸に溶かし、特定の金属を吸着する陰イオン交換樹脂を用い、鉄以外の金属不純物を除去する独自の開発プロセスを確立。高温のプラズマの中で水素を原子状態にし、鉄に含まれる酸素と化合させて水にするなどの手法で不純ガスを取り除き、純度を高めた。

 共同研究に当たった電子部品・磁気製品製造の「ソニー宮城」(宮城県登米市)などが既にサンプル出荷しており、量産化にもめどがついた。

 一色教授らは、超高純度鉄とシリコンを化合させた半導体を既に試作し、電気的な特性に課題はないことを確認できたとしている。

 コスト面でも問題はないといい、一色教授は「毒性のない環境半導体として、水銀などが使われている従来の素材に取って代わる可能性がある」と期待する。ソニー宮城は「予想以上にさまざまな分野から出荷を求められている。コバルトなど他の金属でもこの開発プロセスを応用したい」としている。

 高速・大容量で消費電力が少ないMRAM製造には、複数の高純度金属が必要。このため、鉄の活用に道を開いた今回の成果は、MRAMの開発・実用化をさらに前進させることになりそうだ。


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