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僕らの「宝島」刷れ
229
:
名無しなノダ〜
:2004/05/11(火) 01:31 ID:BeC16iuk
Subject: 4155CでQSCVを測ろうと…
From: KANESHIMA Takeshi
To: ひらっち、SiGroup
情報が途切れてしまっているのか、どのようにしたら測定できる、どのような
時は測定できない、ということが分からず、
ここしばらく4155CでQSCVを測ろうと1週間ぐらい格闘してました。
結局測定できなかったのだけど、メールにして関係者に言っておくと忘れない
だろうと思うので、書きます。
(内部資料。平成16年5月10日。宝島)
そもそもの動機は絶縁膜にhigh-kを使った、リークの大きなMOSのC-Vを取り
たいと思って、4294で2周波法(*1)や最小位相検出法(*1)を試していたのです
が、測定手法により値が桁で変わる、C-Vの周波数依存性がやたらでかいなど
何を信用したら良いか分からないので、QSCVでも測定しようと思ったわけ。
・・・中略
ということで、絶縁膜が薄いところでは、電極サイズを非常に小さくする
必要がありそうで、今回は測定できなかった。
QSCV測定用にリークの小さなサンプルを準備して再挑戦をしたいと思う。
いきなりこんなメール送られてもわけがわかりません。
「思ったわけ。」と言われても・・・
「いろいろやったけど測定できなかった。再挑戦をしたいと思う。」
ということしか分かりません。
しかもなんか目的が変わってきてるような気が・・・
ひらっちにはうちの雷様が変なメール送ってほんともうしわけない。
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