僕らの「宝島」刷れ

205：オヤジ：2004/04/29(木) 13:55 ID:pMZCM6Fc: とりあえず現状報告
現在、Ｓｉは沙夢さんと俺のＰＲグループ。Ｔ田の(high-k)ＡＬＤグループ。
今年、あいつがなんか「理論計算とか」言ってたけれど、結局は「絵に描いた餅」で放置されます。２月まで。
だから結局はＰＲ、ALD。

しかし、ALDは現在は未だ装置作製中みたいなものだから、Ｂ４入るとＴ田が大変、やっぱＢ４はずした方がいいかも。
だからＰＲで１つみて、あとはN山(MFIS)が面倒みるのか？

ＰＲのテーマ：ターゲット作製して、Hfシリケートの組成による違いをPRで観察
ＭＦＩＳ：I層に使う材料を代えてみる。HfO2、SiO2(酸化炉)、SiON（酸窒化炉）、HfON（酸窒化炉）
ていうのはどうかなと…

あと、今年は夏前からでもＢ４装置に教えた方がいいかもしれない。

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