0980研だけで1000レス逝ってみよう！！

402：名無しなノダ～：2006/11/19(日) 15:09:53 ID:XCgbHIKo: 先日、窒素ラジカルの装置にガスの流量コントローラーを取り付けたのはいいけど、
チャンバのリークするときも同じラインを使ってリークするのやけど、
最大で10sccmしか流れないからチャンバをあけるのにめちゃくちゃ時間がかかる状態になりました。
で、灰さんが非常に困ってる様子でした。

今度、佐田部でリーク用のバイパス作ります。リークの事完全に忘れてました。

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